光伏电池技术路线。目前晶硅类电池的技术方向包括单晶和多晶。多晶电池逐渐向黑硅方向升级。单晶包括 P 型和 N 型。P 型电池中PERC 技术逐渐成为主流,叠加 SE(选择性发射极)技术,电池效率逐渐提升。但是 P 型电池有其转换效率的极限,而 N 型电池成为未来高转换效率的方向,目前包括 PERT、TOPCon(隧穿氧化钝化接触)、IBC(全背电极接触)、HJT(异质结)四种技术路径。下面将分别对各种技术路径进行讲解。
传统光伏电池的生产工艺。目前常规的电池是 P 型电池。传统的电池生产流程,包括从硅片出发经历清洗制绒、扩散制结、刻蚀、去除磷硅玻璃、PECVD 镀反射膜、丝网印刷、烘干烧结、分类检测等工艺,完成电池的制造。
PERC 电池工艺介绍。与常规单晶电池工艺相比,PERC 单晶电池主要增加了背面钝化和激光打孔两道工艺。背面钝化工艺在硅片背面沉积三氧化二铝和氮化硅,对硅片背面进行钝化。三氧化二铝由于具备较高的电荷密度,可以对 P 型表面提供良好的钝化;氮化硅主要作用是保护背部钝化膜,并保证电池背面的光学性能。激光打孔工艺是利用一定脉冲宽度的激光去除部分覆盖在电池背面的钝化层和氮化硅覆盖层,以使丝网印刷的铝浆可以与电池背面的硅片形成有效接触,从而使光生电流可以通过 Al 背场导出。