西门子法和硅烷流化床法是多晶硅主流工艺。根据沉积工艺的不同，化学法多晶硅可以分为西门子法和流化床法。根据发生进入核心 CVD 或流化床反应器的反应原料不同，又分为三氯氢硅法、硅烷法、四氯化硅法、二氯二氢硅法等。根据不同生产原料和沉积技术，可组合为三氯氢硅西门子法、硅烷西门子法、三氯氢硅流化床法、硅烷流化床法等。 流化床装置放大难度高：虽然流化床炉操作温度低，但直径放大提高产能比 CVD 炉调整和控制的参数多，难度也大，需要更长的时间调整、试验，以及后续的运营摸索。没有经过一定时间的生产运转，难以保障生产工艺的稳定性和可靠性。流化床炉子大，装炉拆炉，以及管道伐门和附属的设备都很大，一旦发生失败，损失较大。 单筒装料量：比棒状硅高 25%。根据协鑫科技的推介材料，75%-100%比例使用颗粒硅，可以有效增加单筒装料量，节约生产工时，提升单产效率。比如复投 510 公斤重量，使用颗粒硅只需四筒，棒状硅则需要五筒。根据 REC 的材料，当颗粒硅的掺杂比例为 50%时，能提高 41%的装填速度。